ИТО циљни параметри перформанси
1. Чистоћа: ИТО циља на захтеве индустријских стандарда за чистоћу од 99,99% (4Н) до 99,999% (5Н). Када је чистоћа већа, то даје смањени број загађивача, што значи мање несавршености за филмове направљене од мете.
2. Кристална структура: ИТО мете су обично усклађене са кубичном кристалном структуром са параметром решетке од отприлике 10,118 А. Квалитет кристалне структуре утиче на квалитет произведених филмова.
3. Топлотна проводљивост: ИТО мете имају топлотну проводљивост од око 20 до 30 В/(м·К). Боља топлотна проводљивост помаже у брзом спровођењу и расипању топлоте, што смањује губитак циљног материјала током прскања.
4. Електрична проводљивост: ИТО има високу електричну проводљивост од 10^3 - 10^4 С/цм, што је повољно за производњу провидних проводних филмова.
5. Магнетизам: ИТО мете високе-чистоће имају слабији магнетизам. Ово је корисно за стабилност ИТО циљева током прскања. ИТО мета је направљена тако да има контролисану просечну величину честица од 1-5 μм. Ово обезбеђује уједначеност корака прскања. Густина је генерално близу 95% или више од теоријске густине. Ово је важно за повећање ефикасности прскања, а потом и квалитета филма.
Методе за прављење ИТО циљева
1. Метода металуршког праха
Мешање: Прво, у случају индијум оксида (Ин2О3), уграђује се мали део калајног оксида (СнО2), који је друга компонента. Таква мешавина прахова, у случају ИТО мете, резултира њеним електричним карактеристикама.
Куглично млевење: Куглични млин се користи за обраду смеше тако да је уједначена у погледу униформности и реактивности. Водити рачуна о начину обраде и времену у овом случају је важно јер је важан облик и величина праха.
Прешање: Обрађени прах је куглично пресован да би се побољшала уједначена густина, што додатно помаже у побољшању облика. Густина и униформност компакта директно утичу на резултате процеса синтеровања који следи.
Синтеровање: Тело за сабијање се загрева до температуре синтеровања, што резултира ефектима синтеровања који омогућавају изградњу „густих“ блокова од расутог индијум калај оксида (ИТО).
2. Сол-гел техника
Синтеза соли: Одговарајуће соли индијума и калаја се бирају као сировине и хемијски реагују да би се формирао сол у растварачу. Контролисањем реакционих услова може се произвести веома униформан сол. Старење: Формирани сол се одлежава да би се побољшала његова стабилност и спречило неуједначено таложење током накнадне топлотне обраде.
Дозвољена контрола трансформације: Фокусирајући се више на корисно циљање, делови праха који садрже ИТО укључују трансформацију и конверзију структуре једињења у корисне елементарне делове, посебно у овом случају.
Синтеровање: Прах је прекривен угљоводоником и стога је спојен у ИТО, па својства и карактеристике омогућавају ефекат синтеровања.
3. Процес хладног пресовања и синтеровања
Хладно пресовање: Да би се формирао блок ИТО праха, он се уноси у калуп и сабија на собној температури механичким пресовањем. Ова метода не укључује примену топлоте; дакле, појам хладног пресовања.
Уклањање везива: У случају да је везиво уграђено током хладног пресовања, потребно га је елиминисати пре фазе синтеровања, углавном процесом топлотне обраде.
Синтеровање: ИТО компактно хладно пресовано се убацује у пећ за синтеровање и синтерује на повишеним температурама. Хладно пресовање ИТО тела омогућава овим материјалима да проводе мање времена на повишеним температурама, чиме се, заузврат, смањује раст зрна и помаже у микроструктурној контроли материјала.
4. Вакуумско вруће пресовање
Вакуумско пресовање: ИТО прах се вруће-прешује у вакуумском окружењу. Вакуумско окружење ефикасно спречава оксидацију и смањује уношење нечистоћа.
Истовремена топлотна обрада: За разлику од традиционалног пресовања, вакуумско вруће пресовање комбинује пресовање и топлотну обраду у један процес. Прашак се синтерује истовремено под притиском и температуром, што доводи до циља веће густине и бољих перформанси. Хлађење: Након врућег пресовања, ИТО мету треба полако хладити под контролом температуре како би се спречиле пукотине или унутрашњи стрес у материјалу услед превелике брзине хлађења.
Металургија праха је погодна за{0}}производњу великих размера и нуди релативно ниске трошкове, али може имати ограничења у погледу контроле величине честица и униформности материјала. Иако сол-гел метода укључује сложеније кораке и скупља, она производи производе са мањом и равномернијом дистрибуцијом величине честица, што је чини погодним за апликације које захтевају изузетно висок квалитет филма. Процеси хладног пресовања и вакуумског топлог пресовања могу постићи високу густину и уједначену микроструктуру приликом припреме ИТО циљева, који су кључни за униформност филма и перформансе.
Вакуум вруће пресовање, посебно, постиже супериорну микроструктурну контролу уз одржавање високе циљне густине због истовременог рада на високом притиску и температури.
Препоруке за апликације за ИТО циљеве
1. Екрани на додир и екрани:
- Прозирне проводне фолије (ТЦФ) се користе за ЛЦД екране, додирне панеле и ОЛЕД екране. Најбоље је користити ИТО мете са финим-честицама за ТЦФ, постижући изванредна својства транспарентности и проводљивости.
- Адхезија и униформност филма могу се побољшати контролом температуре подлоге и снаге распршивања.
2. Фотонапонски модули:
- Са ИТО циљевима, соларни танки филмови и друге соларне танкослојне ћелије могу да имају побољшану ефикасност фотоконверзије.
- Фотонапонски материјали осетљиви на високе температуре треба да се обрађују коришћењем метода распршивања на ниским-температурама.
3. Оптоелектронски уређаји: - Слојеви струјне дифузије или антирефлексије у ласерским диодама и ЛЕД диодама су направљени од ИТО танких филмова.
- За ИТО мете са бољом проводљивошћу од пропустљивости, извршите распршивање са високим квалитетом оптичког филма да бисте смањили губитке током таложења.
4. Сензори: - У конструкцији осетљивих слојева или електрода гасних сензора и биосензора, ИТО танки филмови налазе примену.
- За оптималну тачност биосензора, електроде са танким филмом морају бити направљене од материјала високе-чистоће, а осетљиви слојеви треба да буду прилагођени околном окружењу.
5. Примене ИТО танких филмова: Гранични интерфејс антистатичких танких филмова ИТО: - Захваљујући проводљивости ИТО танких филмова, могу се користити за спречавање антистатичких сметњи и електромагнетних сметњи у електронским уређајима, као и уређајима са ИТО.
- Мора се водити рачуна о балансирању проводљивости и транспарентности материјала, а одговарајући циљни материјал мора бити изабран да задовољи захтеве датог окружења.
Различити ИТО циљни материјали треба да буду прилагођени датој ситуацији на основу њихове употребе. Штавише, ИТО квалитети танког филма могу се побољшати праћењем циљних услова, као што су температура, брзина таложења и циљна стопа потрошње током процеса распршивања.
Чување и брига о ИТО Таргет-у
1. Заштитне мере током складиштења:
- ИТО циљеви захтевају суво, чисто и температурно{1}}стабилно складиштење да би се спречила било каква промена њиховог физичког облика и хемијског састава узрокована флуктуацијама температуре и влажности.
- Да би се избегла контаминација, ИТО мете такође морају да буду без корозивних течности и гасова. Дакле, запечаћена паковања би била погодна за складиштење.
2. Заштита од загађивача и прашине:
- Током читавог периода складиштења и руковања, мета мора да буде очишћена од прашине и било каквог облика контаминације како би се избегло утицај на њен учинак прскања. Крпе-без прашине и специјалне заштитне фолије биле би прикладне да прекрију мете.
3. Праћење температуре:
- Иако су ИТО циљеви изузетно стабилни, њихова функционалност може бити нарушена због веома високих или веома ниских температура. Оптимална температура складиштења је обично 15-25 степени Целзијуса.
4. Контрола влаге:
- Релативна влажност (РХ) у складишту мора да се контролише у опсегу од 40% – 60% РХ. Влажност се може контролисати употребом средстава за сушење, као и уређаја за контролу влажности.
5. Одржавање и чишћење: - Извршите процену континуираног интегритета мете. Немојте користити мету ако има пукотина или било каквог оштећења. - За чишћење мете користите алкохол високе{4}}чистоће или дејонизовану воду. Немојте користити било који облик органских растварача, или јака кисела или јако алкална средства за чишћење.
6. Припрема пре употребе: - Пре него што ставите мету у опрему за распршивање, уверите се да је чиста да бисте спречили контаминацију тако што ћете је очистити у атмосфери чисте просторије.
- Пре наношења прскања, обавите период пре-прскања да бисте били сигурни да су уклоњене све мале нечистоће које би могле да буду на циљној површини.
7. Евиденција о одржавању: - Препоручује се да се води евиденција о циљној употреби и одржавању, са детаљима о свакој употреби и условима складиштења, да бисте пратили промене у перформансама и благовремено извршили прилагођавања.
Пратећи ове препоруке за складиштење и одржавање, можете ефикасно да продужите животни век свог ИТО циља, обезбедите стабилан процес распршивања и произведете-танке филмове високог квалитета.